Mga High-Performance nga IGS Surface Mount C Seal Filter para sa mga Semiconductor Gas Delivery Systems
Deskripsyon
Ang mga HENGKO Surface Mount Filter gidisenyo aron matubag ang mga kinahanglanon sa integrated gas system nga gigamit sa mga semiconductor OEM tool. Nagtanyag og nanguna sa industriya nga filtration sa 0.003 µm, kini nga mga filter nagsiguro sa talagsaong performance ug kasaligan nga adunay particle interception efficiency nga ≥99.9999999% (9-LRV) sa 120 slpm.
Gihimo gikan sa lig-on nga 316L stainless steel powder nga gi-sinter para sa filter element ug housing, kini nga mga filter nahiuyon sa mga espesipikasyon sa SEMI F86-0304, nga adunay duha ka port nga mga component nga gipahaum para sa 1.125” nga mga sistema sa distribusyon sa gas nga adunay C-seal configuration. Gisuportahan niini ang labing taas nga inlet pressure nga 3.4 MPa sa 100°C ug usa ka labing taas nga operating pressure differential nga 0.69 MPa sa 100°C.
Kining espesyalisadong mga filter, nga nahiuyon sa parehong C-type ug W-type seal specifications, nakab-ot ang downstream cleanness pinaagi sa pagpagawas sa particle sa
Uban sa usa ka nawong nga nahuman sa Ra< 1.6 µm sa gawas ug Ra< 0.13 µm sa sulod, kini gidisenyo aron makasugakod sa taas nga temperatura hangtod sa 460°C. Gidisenyo alang sa dali nga pag-integrate ug mga pag-upgrade sa modular nga disenyo, kini nga mga filter nagpasayon sa pag-instalar ug pagmentinar, nga makatabang sa pag-optimize sa performance sa sistema sa mga aplikasyon sa semiconductor gas delivery ug pagkontrol.
Bahin sa Produkto
▶ Kinatibuk-ang 316L nga stainless steel nga konstruksyon
▶ Gamay nga disenyo, gamay nga istruktura, makadaginot sa espasyo
▶ Maayo kaayong mga kinaiya sa pag-ilis ug pagsuhop sa gas
▶ Dili daling madaot sa temperatura, presyur, ug kalawang
▶ Electro-polish nga 316L stainless steel nga balay
▶ Sayon ug episyente nga pag-instalar ug pagmentinar
▶ Mekanikal nga pagsilyo, dili gi-welding sa medium nga istruktura
Datasheet
| Mga Teknikal nga Parameter | Mga Bili |
|---|---|
| Materyal sa Elemento sa Pagsala | 316L nga Stainless Steel nga Sintered nga Pulbos |
| Materyal sa Pabahay | 316L nga Walay Kupas nga Asero |
| Pinakataas nga Presyon sa Pagsulod | 3.4 MPa @ 100°C |
| Pinakataas nga Operasyon nga Differential | 0.69 MPa @ 100°C |
| Rate sa Pag-awas sa Helium Verification | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Rate sa Pagtulo sa Helium Test | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Pagtambal sa Ibabaw | Panggawas nga Ibabaw Ra< 1.6 μm |
| Sulod nga Ibabaw Ra< 0.13 μm | |
| Pinakataas nga Temperatura sa Pag-operate | 460°C |
| Epektibo sa Pag-intersepsyon sa Partikulo | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Reference MPPS, tanang partikulo) |
| Kalimpyo sa Suba | Pagpagawas sa Partikulo:< 0.03 ka mga partikulo/litro (< 1 ka partikulo/ft³) |
| Mga dali moalisngaw:< 10 ppb nga kaumog | |
| Gidak-on sa Pagpugong sa Partikulo | ≥0.003 μm |
| Sakop sa Pag-agos | 0 ~ 120 slpm |
Gidak-on
Ania ang numero sa bahin nga mahimo nimong i-order ug mga detalye sa gidak-on:
| Modelo sa Produkto | Rate sa Pag-agos | Gitas-on H (mm) | Katukma sa Pagsala | Lebel sa Pagpanglimpyo |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
Kasagarang mga Aplikasyon
Para gamiton uban sa W-seal ug C-seal, 1.125” ug 1.5” surface mount modular gas delivery systems.
Ipadala ang imong mensahe kanamo:
